近日，ASML开始制造新一代极紫外(EUV)光刻机，其每台造价达到了1.5亿美元，约合人民币近10亿元。ASML早在之前就表示，全新一代EUV光刻机，也就是NA EUV光刻机可能会在2023年正式下线商用，其将会用于生产制造3nm、2nm等制程的芯片。
如今，ASML的全新一代EUV光刻机正式开始生产制造，这意味着新一代EUV光刻机来了，距离下线商用也更进一步。新一代EUV光刻机技术更为先进，体积自然也更大，大约有一辆公共汽车那么大。整个机器包含10万个部件和2公里长的电缆。每台机器发货需要40个集装箱、3架货机或者20辆卡车。
造好的组件将于2021年底运往荷兰维荷芬，然后在2022年初安装到新一代极紫外光刻机的第一台原型机中。英特尔可能会使用这种新机器制造出第一批芯片。英特尔表示，预计将在2023年下线第一批芯片。凭借比以往任何机器所蚀刻的图案尺寸更小，让每个芯片都有数百亿个元件，这台机器在未来几年所生产的芯片应该是史上处理速度最快、效率最高的。
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