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南大光电官方发布公告:“关于公司承担的国家科技重大专项(02专项)”已通过专家组验收。其中包括极大规模集成电路制造装备及成熟工艺、先进7纳米光刻胶产品开发与光刻胶供给链产业化。
虽然南大光电并未透露具体的客户名单,但从南大光电公布的光刻胶产品来看,国产ArF光刻胶的出现,将给国内的芯片制造企业,带来更多选择。
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