无人驾驶AI主控芯片不远,国内光刻机迎重大突破
2月25日,清华大学工程物理系教授唐传祥研究组与来自亥姆霍兹柏林材料与能源研究中心(HZB)以及德国联邦物理技术研究院(PTB)的合作团队在《自然》(Nature)上发表了题为“稳态微聚束原理的实验演示”的研究论文,引发了学术界和产业界高度关注。这篇文章从内容上报告了一种新型粒子加速器光源“稳态微聚束”(Steady-state microbunching,简称SSMB)的首个原理验证实验,但SSMB作为一种光源,对于下一代光刻机的研发将起到非常重要的作用。